監察院調查報告指出,攔管官史青年、戰協官賴文生、攔管長盧易舜、莊春源、區劍飛等5人,輕忽任務前整備、地障認知錯誤、不知「全程不得低於絕對高度2000呎」安全規定,導致引導過程中,並未獲准飛官吳彥霆爬高,最終撞上五分山。
監察委員說明,此違失情節重大且明確,經提案彈劾,在2020年2月4日審查通過,已將相關被彈劾人移請公務員懲戒委員會審理;2020年7月,公懲會認定,3名軍官違失情節明確,分判降級改敘,而同樣被彈劾的戰管人員區劍飛與莊春源,則被認為沒有違失,判不受懲戒。
吳彥霆父母向國防部空軍司令部各求償1089萬餘元、1110萬餘元國賠。經台北地方法院審理後,認定空軍司令部有疏失、成立國賠要件;扣除撫恤金等,台北地院判空軍司令部應賠償吳父222萬4748元、吳母243萬9907元,共計466萬4655元,可上訴。